Розглянуто сучасні підходи, які використовуються за формування мікрорельєфних структур на поверхні високостабільних підкладок. Проведено аналіз технологічного процесу нанесення захисної маски на основі хрому у разі формування інформаційного шару оптичного диска з сапфіровою підкладкою. Наведено результати експериментальних досліджень формування мікророзмірних елементів у тонких плівках хрому. Визначено умови оптимізації процесу лазерного запису у середовищі маски фоторезисту, що застосовується за хімічного травлення плівки хрому під час формування мікрорельєфної структури на поверхні сапфірової підкладки.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Крючин Андрій Андрійович (1948–) (технічні науки)
• Беляк Євген Вячеславович (технічні науки)
• Беляк Євген В'ячеславович (технічні науки)
• Пригун Олександр Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"