Zaidi B. Annealing and hydrogenation effects on the electrical properties of polysilicon thin films / B. Zaidi, C. Shekhar, S. Gagui, K. Kamli, Z. Hadef, B. Hadjoudja, B. Chouial // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології : зб. наук. пр.. - 2021. - 19, вип. 1. - С. 133-138. - Бібліогр.: 19 назв. - англ.Електричні параметри мікроелектронних пристроїв обмежені наявністю меж зерен, в тому числі обірваних зв'язків, які можуть представляти стани з пастками для неосновних носіїв заряду. Підвищення фотоелектричної ефективності вимагає певного розуміння явища тверднення, яке варіюється залежно від температури. У даній роботі вивчено вплив температури відпалу і гідрування на електропровідність і питомий опір. Зміни питомого опору як функції термічних оброблень показують, що їх загальний внесок стає важливим у разі підвищення температури, перш ніж стати домінувальним. Аналіз стосовно індукованого струму показав ефект рекомбінантних меж зерен та електричної активності. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + В379.271
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ
 Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|