Вирішено важливу науково-технічної проблему - удосконалення існуючих та створення нових методів і засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю геометричних та механічних характеристик компонентів мікросистемної техніки шляхом застосування автоматизованих систем вимірювання і контролю цих характеристик з урахуванням дії дестабілізуючих факторів, розроблення математичних та експериментально-статистичних моделей, що в цілому представляє собою наукові основи керування якістю процесу контролю на основі методу атомно-силової мікроскопії та дозволяє зменшити відносну похибку на 8 - 11%, збільшити чутливість методу на 17 - 19% та відтворюваність результатів контролю у 2,1 - 2,4 рази, а також збільшити термін експлуатації зонду у 2,6 - 3,5 рази, ймовірність його безвідмовної роботи - на 5 - 10%, зменшити в 1,2 - 3,4 рази швидкість ерозії поверхні, а також визначити діапазон робочих параметрів сканування, що забезпечують стабільну роботу атомно-силового мікроскопа.

 Автореферати дисертацій 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Бондаренко Микола Олександрович (технічні науки)
• Бондаренко Максим Олексійович (технічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (хімічні науки)
• Бондаренко Марина Олександрівна (технічні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (юридичні науки)
• Бондаренко Марія Олександрівна (філологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"