Нанесення покриттів Al2O3 та багатошарових покриттів Al2O3/ZrO2 здійснювали за магнетронним методом шляхом розпилення відповідних металевих мішеней в середовищі суміші газів кисню та аргону. Мікроструктуру поперечних зрізів, визначення товщини і елементний склад одержаних покриттів досліджено за допомогою методу трансмісійної та растрової електронної мікроскопії. Морфологія поверхні зразків покриттів Al2O3 вивчалася за методом скануючої зондової мікроскопії. Показано, що сформовані покриття як Al2O3, так і багатошарове покриття Al2O3/ZrO2 мають стовпчасту структуру з орієнтацією стовпців перпендикулярно поверхні. Стовпчаста структура багатошарових покриттів не порушується під час переходу від шару до шару. Поверхня покриттів складається з глобул діаметром близько 20 нм. За допомогою методу імпедансної спектрометрії встановлено, що покриття Al2O3 має діелектричні властивості. Таким чином, було показано, що за допомогою магнетронного методу можна наносити якісні багатошарові діелектричні покриття, які можуть бути використані як термобар'єрні покриття для захисту лопаток високотемпературних щабель турбін авіаційних двигунів.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"