Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000736723<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Філяшкін М. К. Мікроелектромеханічні системи : навч. посіб. / М. К. Філяшкін; Нац. авіац. ун-т. - Київ : НАУ, 2019. - 274, [1] c. - Бібліогр.: с. 272 - укp.Розглянуто основні типи мікросистемних пристроїв, їх характеристики, принципи роботи та базові технології мікроелектроніки і виготовлення об'ємних структур мікросистем. Подано інформацію про базові матеріали для мікромеханічних систем. Увагу приділено технологіям корпусування окремого чіпа та гетерогенних елементів мікроелектромеханічних систем. Наведено класифікації мікросистемної техніки. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.1 я73-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: ВА837369 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|