РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000736723<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Філяшкін М. К. 
Мікроелектромеханічні системи : навч. посіб. / М. К. Філяшкін; Нац. авіац. ун-т. - Київ : НАУ, 2019. - 274, [1] c. - Бібліогр.: с. 272 - укp.

Розглянуто основні типи мікросистемних пристроїв, їх характеристики, принципи роботи та базові технології мікроелектроніки і виготовлення об'ємних структур мікросистем. Подано інформацію про базові матеріали для мікромеханічних систем. Увагу приділено технологіям корпусування окремого чіпа та гетерогенних елементів мікроелектромеханічних систем. Наведено класифікації мікросистемної техніки.


Індекс рубрикатора НБУВ: З844.1 я73-1

Рубрики:

Шифр НБУВ: ВА837369 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського