Викладено базові фізичні принципи функціонування, моделювання та проектування явищ, матеріалів та елементів мікросистемної техніки (МСТ) із застосуванням пакетів прикладних програм MathCAD і Matlab. Увагу приділено оптимізації базових знань із фізичних основ МСТ і статистичних методів аналізу. Здійснено компонентний аналіз МСТ, розглянуто базові технології матеріалів та операції для МСТ. Описано базові принципи системного автоматизованого проектування (САПР), основні програмні засоби проектування МСТ та інтелектуальні вбудовані системи на їх основі. Окреслено сучасні тенденції проектування інтелектуальних високотехнологічних наносистем. Наведено практикум комп'ютерного моделювання базових явищ і процесів мікро- та наносистемної техніки.

• Кособуцький Петро Сидорович (фізико-математичні науки)
• Лобур Михайло Васильович (технічні науки)
• Каркульовський Володимир Іванович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"