Розглянуто роботи по створенню сучасних методів полірування прецизійних поверхонь елементів електронної техніки та оптичних систем зі скла, оптичних і напівпровідникових кристалів. Описано механізм видалення матеріалу з оброблюваної поверхні під час полірування інструментом зі зв'язаним полірувальним порошком, за механічного полірування суспензіями полірувальних порошків та за хіміко-механічного полірування. Наведено результати дослідження механізму формування нанопрофілю оптичних поверхонь під час полірування та відмічено актуальність вивчення закономірностей утворення надгладеньких поверхонь у разі хіміко-механічного полірування.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Філатов Юрій Данилович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"