Досліджено спектральні характеристики фотолюмінесценції (ФЛ) світловипромінюючих багатошарових (nc-Si-SiOx-SiOy)n структур, сформованих на c-Si пластинах за допомогою термічного осадження у вакуумі 30 - 40 пар cуцільних SiOx наношарів і проміжних поруватих SiOy наношарів (<$E x~<<~y~symbol Г~2>) та наступного високотемпературного відпалу і пасивування у парі HF. Встановлено, що положення максимуму та інтенсивність ФЛ таких надграток залежать від двох факторів: товщини робочих шарів і часу пасивації у парі фтористоводневої кислоти. Це надає можливість керувати спектральним складом і інтенсивністю випромінювання, змінюючи як товщину вихідних шарів надгратки, так і час пасивації наноструктури. Останнє досягається за рахунок використання в структурі надгратки в ролі розділяючих шарів поруватих плівок SiOy, крізь які можливе проникнення пари HF до активних SiOx шарів, в яких після високотемпературного відпалу формуються наночастинки кремнію. Проведено дослідження кінетики згасання ФЛ в багатошарових (nc-Si-SiOx-SiOy)n зразках і встановлено, що вона має немоноекспоненційний характер. Виміряна залежність швидкості випромінювальної рекомбінації від енергії випромінювальних квантів. Одержані значення середнього часу життя ФЛ і параметра його дисперсності в зразках надгратки з різними товщинами бішарів. Встановлено залежність цих параметрів від часу фторводневої обробки зразків (nc-Si-SiOx-SiOy)n структури. За допомогою еліпсометричних досліджень було встановлено, що в багатошарових (nc-Si-SiOx-SiOy)n надгратках проявляється ефект конверсії поляризації, що обумовлено наявністю нахилених колон в скісно осаджених проміжних поруватих SiOy наношарах.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Михайловська Катерина Василівна (політичні науки)
• Михайловська Катерина Василівна (фізико-математичні науки)
• Данько Віктор Андрійович (фізико-математичні науки)
• Гудименко Олександр Йосипович (фізико-математичні науки)
• Кладько Василь Петрович (1957–) (фізико-математичні науки)
• Індутний Іван Захарович (1949–) (фізико-математичні науки)
• Шепелявий Петро Євгенович (технічні науки)
• Сопінський Микола Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"