Khot S. S. DC, AC, and transient simulation study of MEMS cantilever = Дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера MEMS / S. S. Khot, A. A. Patil, V. N. Mokashi, P. P. Waifalkar, K. V. More, R. K. Kamat, T. D. Dongale // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2019. - 11, № 2. - С. 02015-1-02015-5. - Бібліогр.: 9 назв. - англ.Проведено дослідження моделювання постійного, змінного та перехідного струмів кантілівера ME MS. У роботі змодельовано прямокутну систему відкритого типу. У даному випадку автори змінювали довжину кантілівера MEMS (платиновий електрод) і вивчали його вилив у наступних випадках: вплив напруги на ємність і положення променю (аналіз постійного струму), положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз змінного струму) та положення променю у часовій області, ємність і напруга (аналіз перехідних процесів). Результати показали, що довжина активного електрода кантілівера MEMS значно впливає на проду ктивність MEMS. Крім того, напруга на кантілівер і MEMS лінійно зростає з часом і виявилося, що вона не залежить від довжини електрода і діелектричних матеріалів, які використовувалися в розглянутій системі. Індекс рубрикатора НБУВ: З221
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|