Sai P. O. Features of the formation of ohmic contacts to n+-InN = Особливості формування омічних контактів до n+-InN / P. O. Sai, N. V. Safryuk-Romanenko, D. B. But, G. Cywinski, N. S. Boltovets, P. N. Brunkov, N. V. Jmeric, S. V. Ivanov, V. V. Shynkarenko // Укр. фіз. журн.. - 2019. - 64, № 1. - С. 55-61. - Бібліогр.: 21 назв. - англ.Досліджено механізми струмоперенесення та формування омічних контактів до n<^>+-InN із рівнями легування 2 x 10<^>18, 8 x 10<^>18 і 4 x 10<^>19 см<^>-3. Омічні контакти Pd/Ti/Au були сформовані в процесі магнетронного напилення металу за одночасного використання температурної обробки, що надало можливість отримати низький питомий контактний опір <$E (4,20~symbol С~2,67)~cdot~10 sup -6> Ом-см<^>2. Для покращання властивостей отриманих омічних контактів підтверджено можливість використання додаткових швидких термічних обробок в інтервалі температур 350 - 400 <^>oC, при цьому оптимальні параметри температурної обробки визначено за допомогою статистичного аналізу даних. Щодо встановлення механізму струмоперенесення через інтерфейс "метал - InN", спостерігалося нетипове зростання питомого контактного опору в широкому діапазоні температур 4,2 - 380 K у випадках усіх досліджених рівнів легування плівок InN. Пояснено механізм струмоперенесення на основі протікання струму через металеві шунти, спряжені з дислокаціями в плівках InN. Аналітично оцінеіо значення густини провідних металевих шунтів на основі модельних уявлень добре узгоджуються з експериментальними значеннями густин гвинтових і краєвих дислокацій, експериментально отриманих за допомогою високороздільної рентгенівської дифракції. З отриманих температурних залежностей питомого контактного опору зроблено висновки про тип металу, який проникає в дислокації і формує металеві шунти. Індекс рубрикатора НБУВ: В377.15
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|