Проведено детальний аналіз структур із множинними квантовими ямами (МКЯ) AlN/GaN, вирощених на підкладинках AlN(0001). Досліджено вплив шерсткості та зміни товщини шарів структури з МКЯ по глибині на <$E2 theta - omega>-скани, виміряні в Брегговій геометрії дифракції для симетричних рефлексів. Показано, що зміна товщини квантових ям і бар'єрів по глибині призводить до асиметричного розширення сателітних піків МКЯ на <$E2 theta - omega>-сканах. Шерсткість спричиняє симетричне розширення піків, що уможливлює розрізнення впливу цих ефектів. Розглянуто кілька причин асиметричного розширення сателітних піків: зміну товщини періоду, зміну середнього параметра гратниці періоду, який залежить від співвідношення товщин шарів періоду, та їх комбінації. Ефективність розробленого методу показано шляхом числового моделювання рентгенівських спектрів.

• Любченко Олексій Ігорович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"