Розглянуто конструктивно-технологічні особливості створення чутливого елемента давача фізичних величин із розширеними функціональними можливостями на основі ниткоподібних кристалів (НК) кремнію p-типу провідності з домішкою бору вирощених механізмом пара - рідина - кристал. Проведено дослідження впливу питомого опору НК Si на температурну залежність вихідного сигналу. Одержано результати комп'ютерного моделювання розподілу температурного поля для розрахунку стаціонарного та динамічного випадків у разі варіювання як геометрії розміщення контактів, так і значеннями коефіцієнтів теплопровідності ізолювального матеріалу та навколишнього середовища. Аналіз комп'ютерного моделювання розподілу механічних напружень і деформацій в елементах давача тиску, зокрема термічних навантажень і деформації проводили для врахування впливу температурних напружень на точність вимірювання давача механічних величин і можливості виділення інформації про температуру вимірюваного середовища для багатофункційних сенсорів. Визначено температурний інтервал роботи давача (213 - 423 K) і можливі галузі використання. Запропоновано схему оцифровування для подальшого оброблення сигналу.

 Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"