Углеродные покрытия были получены с помощью импульсного вакуумно-дугового метода на подложках монокристаллического кремния. С применением метода импедансной спектроскопии получены результаты изменений электрической емкости в зависимости от параметров формирования углеродных покрытий. Исследование морфологии поверхности производили с помощью метода сканирующей зондовой микроскопии. Установлена корреляционная зависимость между электрической емкостью углеродных покрытий и изменением морфологии поверхности в зависимости от условий их формирования. Предложены объяснения полученных результатов.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"