Проведен сравнительный анализ структуры и свойств покрытий на основе тугоплавких соединений в зависимости от условий осаждения (температуры и потенциала подложки, парциального давления рабочего газа). Выявлены общие закономерности для твердых и сверхтвердых наноструктурных (нанокомпозитных) покрытий, состоящие в наличии столбчатой структуры и текстуры роста. Показано, что для карбидных и нитридных покрытий переходных металлов имеют место два возможных направления роста <111> и <100>, для диборидов переходных металлов таковым является <0001>. Проведен анализ влияния структурного состояния на изменение физико-механических характеристик нанокристаллических покрытий на основе нитридов, боридов и карбидов переходных металлов.

• Погребняк Анатолій Дмитрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"