Проведено комплексні дослідження оптоелектронних та фізико-механічних властивостей тонких плівок Si-C-N, одержаних плазмохімічним осадженням (PECVD) з використанням нового прекурсору - гексаметилдісілазан, і магнетронним розпиленням кремній-вуглецевої мішені в атмосфері азоту й аргону. Проведено порівняння властивостей плівок, одержаних двома технологіями. Досліджено взаємозв'язок між характером міжатомної взаємодії та механічними й оптоелектронними властивостями. Проаналізовано електричні та фотоелектричні властивості a-SiCN/c-Si гетеропереходів. Встановлено, що плівки, осаджені з використанням двох методів, є рентгеноаморфними. Хімічний міжатомний зв'язок в плівках здійснюється в основному за рахунок Si—С, Si-N і С-N взаємодій. Плазмохімічні плівки демонструють фотолюмінесценцію з основною смугою випромінювання в блакитній ділянці спектра, інтенсивність якої посилюється зі збільшенням кількості азоту. Величина оптичної енергетичної щілини PECVD плівок знаходиться в межах 1,05 - 2,25 еВ і є чутливою до параметрів осадження. Одержано протилежну залежність механічних характеристик (нанотвердості Н і пружного модуля Е) в плазмохімічних і магнетронних плівках в залежності від потоку азоту. Величини Н і Е змінюються залежно від параметрів осадження (потоку азоту, температури підкладки, потужності розряду) в межах 8 - 34 та 110 - 220 ГПа, відповідно. Досліджено структури та механічні властивості відпалених плівок, яки вказують на те, що плівки залишаються термічно стійкими до температур понад 1 000 °С.

• Козак Андрій Олександрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"