Євтушенко А. І. Вплив тиску кисню на властивості тонких плівок ZnO:Al, вирощених методом пошарового росту при магнетронному розпиленні / А. І. Євтушенко, О. І. Биков, Л. О. Клочков, О. С. Литвин, В. М. Ткач, О. М. Куцай, С. П. Старик, В. А. Батурин, О. Ю. Карпенко, М. Г. Душейко, Г. В. Лашкарьов // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - 16, № 4. - С. 667-674. - Бібліогр.: 39 назв. - укp.Вивчено вплив тиску кисню в камері осадження на структуру, морфологію, оптичні та електричні властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, осаджених за допомогою методу пошарового росту (МПР) у магнетронному розпиленні (МР) на скляних підкладках. Проаналізовано вплив застосування традиційного одноетапного підходу та запропонованого МПР у МР на властивості плівок ZnO, легованих алюмінієм. Встановлено, що зі зменшенням тиску кисню в камері осадження покращується структура, збільшується пропускання в видимій області спектра випромінювання та зменшується питомий опір плівок ZnO:Al. Показано, що застосування МПР у МР надає можливість виростити прозорі провідні плівки ZnO:Al з вищими робочими параметрами, у порівнянні з плівками, сконденсованими традиційним підходом в МР. За допомогою МПР вирощено плівки ZnO:Al з електричним опором 6,1x10<^>-4 Ом-см і пропусканням у видимій області спектра випромінювання на рівні 95 %, що є перспективним для використання їх в приладах фотовольтаїки. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.033-18 + В379.22
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|