The conductive ZnO films deposited using atomic layer deposition (ALD) on the optical glass substrates were studied using the modified method of the disturbed total internal reflection within the range 400 - 1400 cm<^>- for the first time. The frequency "windows" with the obtained excited surface phonon and plasmon-phonon polaritons have been found in the measured infrared reflectance spectra. The dispersion response of high and low frequency branches of the IR spectra have been presented.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Венгер Євген Федорович (1947–) (фізико-математичні науки)
• Семікіна Тетяна Вікторівна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"