Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000577119<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Rudenko E. M. Formation of nanostructured relief of TiN - Fe heterostructures in hybrid helicon-arc plasma reactor = Формирование наноструктурированного рельефа гетероструктур TiN - Fe в гибридном геликон-дуговом плазменном реакторе / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Yu. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. - 2015. - 37, № 4. - С. 499-508. - Бібліогр.: 8 назв. - англ.Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных пленок TiN. Структуры пленок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированные геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620 + Л428.853
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Наукова періодика України Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|