Розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-на-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими і нанометровими топологічними розмірами. Це надало змогу реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який забезпечує контроль переміщення з точністю 200 нм.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Дружинін Анатолій Олександрович (фізико-математичні науки)
• Когут Ігор Тимофійович (технічні науки)
• Голота Віктор Іванович (технічні науки)
• Ховерко Юрій Миколайович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"