РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000569173<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Odinokov V. V. 
Small-scale vacuum system for deposition of multilayer metallic films "MVU TM-Magna 3M" / V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, V. V. Panin, V. P. Raschinsky, A. N. Shpakov, A. V. Shubnikov // Журн. нано- та електрон. фізики. - 2014. - 6, № 3. - С. 03015-1-03015-2. - Бібліогр.: 3 назв. - англ.

A new small-scale vacuum system "MVU TM-Magna 3M" developed at JSC "Research Institute of Precision Machine Manufacturing" is described. Its assembly and working conditions are considered. This system was used for magnetron sputtering multilayer metallic films.


Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26 + К663.033.057.2

Рубрики:
 Тонкі шари металів 
 Металізація металів з використанням плазмового струменя (плазмова металізація) 

Шифр НБУВ: Ж100357 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського