Вперше на підставі проведених досліджень температурних характеристик тензорезисторів на основі ниткоподібних кристалів (НК) кремнію p-типу з платиновими контактами показано можливість їх роботи до температури + 500 °С за рахунок високотемпературної евтектики кремній - платина (~ 830 °С) зі збереженням високої тензочутливості, що відкриває можливості створення високотемпературних давачів тиску на основі цих тензорезисторів. Встановлено, що тензорезистори на основі сильнолегованих НК Si p-типу з питомим опором ~ 0, 005 ÷ 0, 006 Ом • см за своїми основними характеристиками (лінійною залежністю опору від температури та найкращим співвідношенням величини коефіцієнта тензочутливості та його температурної залежності у діапазоні температур -269 - +350 °С) найбільш придатні для створення давачів тиску, працездатних за низьких і підвищених температур. Встановлено основні закономірності впливу опромінення високоенергетичними електронами на коефіцієнт тензочутливості, опір та їх температурні залежності у діапазоні температур -269 - +100 °С для тензорезисторів на основі НК кремнію, легованих бором, з питомим опором 0, 005 ÷ 0,03 Ом • см. Вперше розроблено технологічні основи створення високотемпературних давачів тиску з кремнієвими тензорезисторами на базі запропонованої композиції кремній - склоприпой - пружний елемент з ковару, що дозволяє значно зменшити термічні напруження під час закріплення тензорезисторів і розширити діапазон робочих температур давачів до + 400 °С. Запропоновано концепцію створення давачів тиску з універсальним тензомодулем з тензорезисторами на основі НК кремнію, в якій завдяки використанню різних матеріалів пружних елементів і запропонованої технології закріплення тензорезисторів забезпечується можливість роботи давачів для вимірювання статичних і динамічних тисків у широкому діапазоні температур від - 269 °С до + 320 °С.

• Кутраков Олексій Петрович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"