Зазначено, що тонка плівка діоксиду титану (TiO2) використовується як оптичний хвилевід, наприклад, у біологічних і хімічних датчиках. Можливості такого застосування залежать від складу, показника заломлення та світлопроникності тонкої плівки TiO2. У ході дослідження варійовано потужність розпилення та температуру відпалу анатазної фази. Плівки осаджено на кремнієві та скляні підкладки за різних потужностей високочастотного випромінення у діапазоні 200 - 300 Вт і відпалено за температур 25 - 500 <$E symbol Р>C. Кристалічну структуру плівки TiO2 підтверджено за допомогою рентгенодифракційного методу та спектроскопії комбінаційного розсіювання. Морфологію та шорсткість поверхні визначено за допомогою атомно-силової мікроскопії. Показник заломлення виміряно з застосуванням спектроскопічного еліпсометра. Обговорено результати детального дослідження тонких плівок TiO2.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"