Досліджено електроопір і мікроструктуру легованих кремнієм (від 5 до 38 ат. % Si) аморфних вуглецевих (a-C) плівок, нанесених за допомогою методу магнетронного розпилювання на постійному струмі, залежно від концентрації кремнію у плівках. Плівки одержано розпилюванням складної (графіт + монокристалічний кремній) мішені в аргоновій плазмі. Електроопір плівок виміряно паралельно та перпендикулярно поверхні підкладки. Структуру плівок вивчено із використанням методів електронографії та комбінаційного розсіювання світла. Легування кремнієм не вплинуло на електроопір <$E rho~| down 40 back 30 -> у всьому інтервалі концентрацій кремнію, але призвело до різкого підвищення <$E rho sub ||>. Проникнення атомів кремнію у структуру графітоподібних кластерів вуглецевих плівок призводить до її спотворювання і розупорядкування у площинах, паралельних поверхні підкладки, та, як наслідок, сприяє підвищенню <$E rho sub ||>.

Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6 + В377

Рубрики:

Тонкі шари твердих тіл

Електричні та магнітні властивості твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж41115 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Янчук Ігор Богданович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"