За допомогою методів атомної силової мікроскопії та просвічувальної електронної мікроскопії проведено порівняльний аналіз спеціальних стиків меж зерен (СМЗ) і поверхневих неоднорідностей у полікристалічних плівках кремнію з рівноосьовою та дендритною структурою (нелегованих і легованих фосфором), одержаних за допомогою методу хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску. Розглянуто механізми формування спеціальних стиків у плівках різних структурних модифікацій. Проаналізовано роль фосфору у формуванні СМЗ.

• Литвин Петро Мар'янович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"