Pits 250 - 300 nm wide were obtained on the surface of thin organic nanocomposite film using master-disc laser-burning station with 405 nm laser beam focused by 0,85 NA lens. The film with obtained pits was used as a mask for subsequent reactive ion-beam etching of glass substrate. Finally, 150 - 200 nm pits were performed on the substrate surface. Nanocomposite films were based on organic positive photoresist with a dye inclusions. This dye is characterized by wide absorption band within the spectral region 390 - 410 nm and can be evaporated by laser irradiation with the wavelength 405 nm.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Крючин Андрій Андрійович (1948–) (технічні науки)
• Гриценко Костянтин Петрович (фізико-математичні науки)
• Манько Дмитро Юрійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"