РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000440354<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Новосядлий С. П. 
Фізико-технологічні аспекти багатозарядної імплантації арсенід галію в структурах приладів і схем / С. П. Новосядлий, Л. В. Мельник, Т. П. Кіндрат // Вост.-Европ. журн. передовых технологий. - 2013. - № 5/5. - С. 29-36. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.

Проведено систематизацію даних про основні закономірності процесів іонного легування арсеніду галію. Проаналізовано вплив технологічних факторів на параметри імплантованих шарів, використання методів іонної імплантації в тому числі високоенергетичної багатозарядної у процесі формування приладних структур швидкісних великих інтегральних схем на арсеніді галію.


Індекс рубрикатора НБУВ: К663.05-1 + З852-03

Рубрики:
 Електричне покриття металів 
 Напівпровідникові прилади 

Шифр НБУВ: Ж24320 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського