РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000436569<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Новосядлий С. П. 
Фізико-технологічні особливості формування металізації субмікронних арсенід-галієвих структур іонним фрезеруванням / С. П. Новосядлий, Т. П. Кіндрат, Л. В. Мельник, В. М. Варварук // Вост.-Европ. журн. передовых технологий. - 2013. - № 4/5. - С. 3-6. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.

Описано основи іонного фрезерування, методи іонно-променевої обробки в літографії, переваги та недоліки в порівнянні з іншими методами. Одержано структури ВІС на GaAs із другим рівнем металізації, виконаним за допомогою іонно-променевого травлення через маску з фоторезистом. Досліджено ефективність після імплантаційного відпалу іонним пучком в порівнянні з термічним відпалом.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж621 + Ж68

Рубрики:
 Обробка іонізуючим опромінюванням 
 Обробка окремих матеріалів 

Шифр НБУВ: Ж24320 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського