Досліджено вплив рентгенівського та імпульсного лазерного (<$E lambda~=~1,06> мкм, <$E tau~=~10 sup -3> с) випромінювань на параметри кремнієвих МДН-транзисторів з довжинами каналів 1 - 10 мкм. Одержані результати спостережуваних змін параметрів інтерпретуються в межах моделі додатнього заряду в об'ємі підзатворного діелектрика SiO2 та дефектно-домішкової природи міжфазної межі Si - SiO2, потенціальний рельєф якої зазнає структурної трансформації під дією рентгенолазерної обробки.

• Коман Богдан Петрович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"