Курмашев Ш. Д. Изготовление монодисперсных керамических порошков SiC и Si3N4 с применением CO2-лазера / Ш. Д. Курмашев, А. Н. Софронков, Т. Н. Бугаева, Т. И. Лавренова, Н. С. Дзюба // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2012. - 3, № 4. - С. 76-80. - Библиогр.: 8 назв. - рус.Рассмотрен процесс получения порошков SiC и Si3N4 с применением CO2-лазера. Технология отличается тем, что используемые реагентные газы - силан и аммиак (для получения нитрида кремния) или этилен (для получения карбида кремния) пропускаются через луч CO2-лазера. Получены мелкодисперсные, содержащие сферические частицы одинакового размера (монодисперсные), высокочистые, неагломерированные порошки SiC и Si3N4. Індекс рубрикатора НБУВ: Л463.3
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ
![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|