Structural changes in silicon single crystals irradiated with high-energy electrons (E = 18 MeV) were studied. The peculiarities of diffraction reflection curve behaviour and changes in the profiles of isodiffusion lines in high-resolution reciprocal space maps (HR-RSMs) were found as a function of the radiation dose. The generalized dynamic theory of X-ray Bragg-diffraction in crystals comprising defects of several types (spherical and disc-shaped clusters as well as dislocation loops) and a damaged near-surface layer was used for explanation.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379

Рубрики:

Фізика напівпровідників та діелектриків

Шифр НБУВ: Ж16425 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Повний текст  Наукова періодика України 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"