Розроблено оригінальний метод формування локальних тривимірних структур "кремній-на-ізоляторі" (КНІ), проведено приладно-технологічне моделювання. На прикладі розроблених окремих інтегральних елементів і моделювання їх характеристик показано, що запропоновані КНІ-структури можуть бути перспективним матеріалом для проектування елементної бази як зі стандартними, планарними конструкціями, так і з об'ємними, тривимірними архітектурами та побудови на цій основі мікросистем-на-кристалі.

• Когут Ігор Тимофійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"