Новосядлий С. П. Джерела іонів для формування шаруватих структур ВІС / С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський // Прикарпат. вісн. НТШ. Сер. Число. - 2008. - № 1. - С. 151-158. - Бібліогр.: 4 назв. - укp.Наведено характеристики та параметри іонних застосування в іонно-променевому та реактивному іонно-променевому методах осадження і травлення шаруватих структур ВІС іонних джерел, які стають особливо актуальними як в субмікронній, так і нанотехнології. Показано принципову можливість управління такими параметрами, як енергія іонів, густина струму, склад іонного пучка, однорідність та анізотропність процесів осадження та травлення. Індекс рубрикатора НБУВ: З844.151
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж73616 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|