Показано роль пластичної деформації в процесі одержання шарів наноструктурованого кремнію (НСК). Процес одержання НСК полягає в тому, що на поверхні кремнієвої пластини вирощуються шари окислу кремнію різної товщини з подальшим їх видаленням та обробкою в хімічних травниках до появи бездефектного острівкового кремнію, що має фотолюмінесцентні властивості, притаманні нанокремнію. Наведено спектри інтенсивності фотолюмінесценції нанокремнію для різної товщини вирощеного оксиду кремнію. Розглянуто різні механізми зсуву максимуму інтенсивності спектра фотолюмінесценції в короткохвильову область спектра.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Кулініч Олег Анатолійович (1955–) (фізико-математичні науки)
• Кулініч Оксана Андріївна (економічні науки)
• Свірідова Ольга Валентинівна (фізико-математичні науки)
• Свірідова Олена Валеріївна (економічні науки)
• Яцунський Ігор Ростиславович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"