Построена модель диффузно-динамической двухосевой дифрактометрии многослойных систем на подложке с дефектами нескольких типов, комбинирующая четыре экспериментально реализуемых случая условий дифракции: геометрии дифракции по Брэггу и Лауэ для прямого (в первой части работы) и для обратного (во второй части) рассеяния. Установлен эффект изменения избирательности чувствительности картины многократного рассеяния к дефектам какого-либо одного из нескольких типов к избирательности чувствительности к другому типу дефектов в многослойных системах при вариациях условий динамической дифракции. На основании созданной модели экспериментальных кривых отражения, полученных в различных рассмотренных случаях динамической дифракции, и установленного эффекта изменения избирательности чувствительности предложены принципы однозначного решения обратной задачи рассеяния при многопараметрической диагностике. В результате созданы основы многопараметрической кристаллографии многослойных наносистем.

• Молодкін Вадим Борисович (1941–) (фізико-математичні науки)
• Оліховський Степан Йосипович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"