Изучены основные закономерности формирования тонких плёнок V - N - He, осаждаемых в условиях бомбардировки смешанными пучками высокоэнергетичных ионов азота и гелия. Были исследованы их структурно-фазовые, электрофизические и адсорбционные характеристики. Данные электронно-микроскопического анализа доказывают, что формирование структуры плёнок V - N - He происходит в условиях конкуренции нескольких проходящих одновременно процессов, которые приводят к формированию нанокристаллической структуры, содержащей микропоры размером от 5 нм до 5 мкм. Обсуждается роль ионной бомбардировки и адсорбции газа из остаточной атмосферы в формировании пористости. Сопоставление данных резерфордовского обратного рассеяния и профилометрии позволило определить величину пористости плёнок - 27 %. В диапазоне исследованных давлений водорода (до 0,35 МПа) было адсорбировано 7 вес. % H2. Показано, что количество адсорбированного водорода определяется микропористой структурой плёнок и составом газовой среды в них.

 Наукова періодика України 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Воєводін Віктор Миколайович (1946–2021) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"