Метод, який базується на використанні комбінаційного розсіювання світла, дозволяє визначати температуру, використовуючи базові константи термометричної субстанції та результати прямих вимірювань. У результаті вивчення похибок цього методу аргументовано можливість його застосування для термометрії теплових режимів у процесі виготовлення та експлуатації мікросхем.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"