Исследована кинетика адсорбции/десорбции ряда летучих комплексов палладия (II) с бета-дикетонами и их производными на поликристаллической поверхности нержавеющей стали. Состав газовой фазы, порядок десорбции, энергия активации десорбции и частотный фактор определены с использованием метода температурно-программируемой десорбции с масс-спектрометрической регистрацией газовой фазы. Установлено, что для всего ряда соединений в интервале температур 303 - 473 K характерна физическая адсорбция. На основании полученных данных произведен отбор наиболее перспективных прекурсоров для получения пленок металлического палладия методами послойного и УФ-стимулированного осаждения.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"