Висвітлено особливості створення мікроелектромеханічних систем та описано технології їх виробництва, що допомагають на єдиній кремнієвій підкладці виготовляти мікромеханічні вузли та деталі, а також електронні системи обробки інформації та системи керування. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії, математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків. Наведено відомості про конструктивні та технологічні рішення, інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне обладнання.

• Семенець Валерій Васильович (1955–) (технічні науки)
• Невлюдов Ігор Шакірович (технічні науки)
• Палагін Віктор Андрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"