Стратійчук І. Б. Хімічна взаємодія нелегованого та легованого CdTe з травильними композиціями на основі розчинів системи <$Eroman bold {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}> : Автореф. дис... канд. хім. наук : 02.00.21 / І. Б. Стратійчук; Прикарпат. нац. ун-т ім. В.Стефаника. - Івано-Франківськ, 2005. - 20 c. - укp.Досліджено фізико-хімічну взаємодію нелегованого та легованого домішками Ga, Ge, Sn, As + Cl, Sb кадмій телуриду з бромвиділяючими розчинами систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-розчинник (етленгліколь, лактатна, цитратна, тартратна кислоти). Розроблено травильні композиції та режими обробки поверхні монокристалів зазначених напівпровідників. З використанням математичного планування експерименту побудовано концентраційні залежності швидкості розчинення <$Enu sub роз> (діаграми Гіббса), установлено концентраційні межі існування областей полірувальних та неполірувальних травників. Виявлено вплив природи розчинника на <$Enu sub роз>-полірувальні властивості травників та якість полірованої поверхні за умов використання розчинів досліджуваних систем. Вивчено кінетичні закономірності та встановлено механізм процесу розчинення нелегованого та легованого Ga, Ge, Sn, As + Cl, Sb кадмій телуриду в бромвиділяючих розчинах <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}> і чотирьох систем <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}>-розчинник. Уперше показано вплив природи легувальних домішок на процеси хімічного травлення напівпровідникових сполук типу <$Eroman {A sup II B sup VI }>. За методами металографічного та профілографічного аналізу й еліпсометрії досліджено стан поверхні кадмій телуриду після хіміко-механічного (ХМП) та хіміко-динамічного полірування (ХДП) після обробки розчинами системи <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}> - етиленгліколь. Виявлено вплив природи легувальної домішки на еліпсометричні параметри та показник заломлення CdTe, запропоновано бромвиділяючі травильні композиції на основі системи <$Eroman {H sub 2 O sub 2 ~-~HBr}> й оптимізовано Індекс рубрикатора НБУВ: К637.400.86 + Г523,0
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА339541 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|