Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000236372<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Оксанич А. П. Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва : Автореф. дис... д-ра техн. наук : 05.27.06 / А. П. Оксанич; Харк. нац. ун-т радіоелектрон. - Х., 2002. - 34 c. - укp.Розроблено науково-обгрунтовані методи для контролю деформацій, механічних напруг структурної досконалості та створення на їх підставі принципів конструювання вимірювального і ростового обладнання, за допомогою якого неруйнівним методом експресно контролюються на всіх стадіях напівпровідникового виробництва геометричні параметри та внутрішня напруга напівпровідникових пластин і структур. Створено апаратуру для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів у процесі вирощування. Запропоновано методики і конструкції плоских інфрачервоних полярископів "Міраж-1" та "Міраж-2". Досліджено технологічні процеси високотемпературної обробки. Проведено теоретичний аналіз і експериментально підтверджено взаємозв'язок полів внутрішніх напруг з щільністю дислокації Nd. Висвітлено методику контролю щільності дислокацій під час дослідження жорсткості кремнієвих структур, спостережено нове явище зміни форми (згину) кремнієвих структур після прикладення імпульса навантаження з високою швидкістю. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.22,022 + З843.312-06
Рубрики:
Шифр НБУВ: РА319978 Пошук видання у каталогах НБУВ Повний текст Автореферати дисертацій Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|