Дисертацію присвячено питанням створення та дослідження властивостей алмазоподібних захисних покриттів робочих поверхонь виробів оптики та мікроелектроніки. В роботі визначений вплив технологічних параметрів осадження на механічні та захисні властивості аморфних гідрогенізованих вуглецевих плівок. Показано, що інкорпорування під час синтезу а-С:Н плівок азотом при певному складі робочої газової суміші дозволяє зменшити рівень механічних напружень в плівках в два рази. Проведено комплексні дослідження граничної зносостійкості алмазоподібних плівок та стійкості до дії руйнівних факторів оточуючого середовища. Вперше було виконано оцінку захисних властивостей а-С:Н плівок шляхом дослідження змочування осаджуваних плівок розчинами різної фізико-хімічної природи. Встановлено кореляцію між параметрами синтезу та капілярними характеристиками системи вуглецева плівка - рідина. Показана ефективність застосування алмазоподібних плівок в якості хімічно-стійкого покриття для захисту робочих поверхонь виробів електроніки при роботі в умовах агресивного середовища.

• Хандожко Сергій Іванович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"