Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000214532<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Євтушенко А. І. Структура та морфологія плівок ZnO, осаджених на підкладинки Si3N4/Si методом ВЧ магнетронного розпилення / А. І. Євтушенко, В. Д. Храновський, Г. В. Лашкарьов, О. І. Биков, В. Й. Лазоренко, В. А. Карпина, Л. О. Клочков, В. А. Батурин, О. Ю. Карпенко, М. М. Луніка // Металлофизика и новейшие технологии. - 2008. - 30, спец. вып. - С. 633-643. - Бібліогр.: 23 назв. - укp.Якісні текстуровані плівки ZnO осаджено за допомогою методу високочастотного магнетронного розпилення (ВМР) на підкладинки Si3N4/Si з використанням методу пошарового осадження. Досліджено вплив температури підкладинки, тисків кисню й азоту на морфологію та структуру плівок ZnO. Одержано ознаки того, що плівки ZnO у процесі осадження за допомогою методу ВМР були леговані азотом. Досліджено вплив температури відпалу в повітрі на структуру плівок. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619 + В365.32
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|