РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000204807<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Минько В. І. 
Інтерференційна фотолітографія з використанням трикомпонентного халькогенідного фоторезиста / В. І. Минько, П. Є. Шепелявий, І. З. Індутний, О. С. Литвин, В. А. Данько // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2008. - Вып. 43. - С. 38-43. - Бібліогр.: 8 назв. - укp.

Наведено результати досліджень застосування халькогенідних фоторезистів потрійного складу для одержання рельєфних структур на поверхні монокристалічного кремнію за допомогою інтерференційної літографії. Вивчено фотографічні характеристики неорганічного фоторезиста As40S30Se30 та оптимізовано параметри літографічного процесу. Розроблено технологічний процес одержання біграток з елементами мікронних та субмікронних розмірів на поверхні Si <$E << 100 >> > з використанням резистивної маски As40S30Se30 - Cr та лужних травильників анізотропного типу.


Індекс рубрикатора НБУВ: З852 + М831.011

Рубрики:
 Напівпровідникові прилади 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського