Розроблено сенсор водню на основі структури острівкова плівка паладію - кремнієвий діод, використовуючи тонкий (15 - 75 нм) шар нанопористого кремнію як проміжний чутливий шар. Використання термічного осадження паладію в поруватий кремній дозволяє змінювати розмір та морфологію металевих островків в матриці поруватого кремнію. Поведінку газового сенсора при експозиції водню в суміші 200 ppm- 10 % <$E roman H sub 2> та сухого синтетичного повітря (20 % <$E roman O sub 2~+~80> % <$E roman N sub 2>) досліджено шляхом вимірів вольт-амперних характеристик. Діодний струм і чутливість сенсора водню залежать від типу кремнієвої підкладки і товщини поруватого кремнію. Зміна струму від концентрації водню показує лінійну залежність для високої та низької концентрації водню. За кімнатної температури чутливість сенсора складає приблизно 1 мкА/100 ppm, час відгуку та відновлення знаходиться в межах 1 - 8 хв.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"