РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000196902<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Томашик З. Ф. 
Травильні композиції на основі розчинів HNO3 - HBr - розчинник для хімічної обробки поверхні InAs, InAs(Sn), InSb та GaAs / З. Ф. Томашик, В. М. Томашик, Н. В. Кусяк // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2007. - Вып. 42. - С. 80-83. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.

Досліджено характер процесу хімічного травлення монокристалів InAs, InAs(Sn), InSb і GaAs у травильних композиціях систем HBr - HNO3 - розчинник. На підставі одержаних експериментальних даних і результатів мікроструктурного та профілографічного аналізів протравленої поверхні розроблено й оптимізовано склади травильних сумішей і технологічні режими для хіміко-динамічного полірування вказаних напівпровідникових матеріалів.


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж68

Рубрики:
 Обробка окремих матеріалів 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського