РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000191404<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Глушков О. В. 
Нові оптимальні схеми лазерно-фотоіонізаційного методу очищення напівпровідникових речовин та виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні / О. В. Глушков, Я. І. Лепіх, С. В. Амбросов, О. Ю. Хецеліус // Укр. фіз. журн. - 2008. - 53, № 10. - С. 1023-1027. - Бібліогр.: 21 назв. - укp.

Розроблено нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю й очищення напівпровідникових матеріалів і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Наведено нову схему відповідної установки. Комп'ютерно змодельовано оптимальну схему виготовлення плівок особливо чистого складу на прикладі 3D гетероструктурних суперграток (шари <$E {roman Ga} sub 1-x {roman Al} sub x roman As> і GaAs).


Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського