Установлено кореляцію між показником заломлення плівки, її товщиною та коефіцієнтом поглинання підкладки для структури "прозора плівка на поглинальній підкладці" для довжини хвилі 632,8 нм. Проаналізовано кути падіння для меж поділу середовищ повітря - плівка та плівка - підкладка, за яких спектри відбиття в p-поляризації не залежать від товщини плівки. Запропоновано новий підхід до визначення показника заломлення плівки з еліпсометричних вимірювань трьох зразків із різною товщиною плівки.

Індекс рубрикатора НБУВ: В343.54 + В374.7

Рубрики:

Еліпсометрія

Спектроскопія твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж29409/А Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"