Зазначено, що газова сенсорика є однією з тих галузей електроніки, що останнім часом найбільш динамічно розвивається. Потреба в розробці газових сенсорів (ГС) обумовлена необхідністю контролю екологічного стану оточуючого середовища та забезпечення безпеки життєдіяльності людини. Напівпровідникові сенсори є найбільш перспективними ГС, оскільки вони мають малі розміри, просту конструкцію, мале споживання електроенергії, виготовляються за груповою технологією мікроелектроніки, що забезпечує їх порівняно низьку вартість і сумісність із електронними приладами для подальшої обробки сигналів. Область використання ГС, що реагують на пари спирту, залежить від вимірюваних концентрацій. Так, в області низьких концентрацій (порядку кількох ppm) такі сенсори застосовуються для аналізу вмісту алкоголю у подиху людини. Тоді як сенсори, які працюють в області високих концентрацій, потрібні для контролю біотехнологічних процесів під час виготовлення спиртних напоїв у харчовій промисловості. Досліджено чутливість тонкоплівкових ГС резистивного типу на основі оксиду цинку до парів етилового спирту (ЕС). Вивчено зміну опору газочутливої плівки за дії газу. Якщо сенсор, газочутливим елементом якого є напівпровідникова плівка n-типу (ZnO), підлягає впливу пару ЕС, опір чутливого елемента зменшується. Встановлено вплив легування на величину чутливості ГС. Домішки Al і In покращують чутливість тонкоплівкового сенсора на основі ZnO. Обговорено механізми чутливості сенсора на основі плівки ZnO до парів етанолу та впливу домішок на його чутливість.

Індекс рубрикатора НБУВ: З851.2

Рубрики:

Іонні прилади (газорозрядні прилади)

Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Бугайова Марина Едуардівна (фізико-математичні науки)
• Лашкарьов Георгій Вадимович (1937–2019) (фізико-математичні науки)
• Борисов Артем Вадимович (історичні науки)
• Борисов Андрій Вікторович (державне управління)
• Коваль Володимир Миколайович (юридичні науки)
• Коваль Вікторія Михайлівна (технічні науки)
• Коваль Василь Миколайович (фармацевтичні науки)
• Коваль Василь Михайлович (економічні науки)
• Коваль Василь Михайлович (мистецтвознавство)
• Коваль Володимир Миколайович (економічні науки)
• Коваль Володимир Миколайович (юридичні науки)
• Коваль Вікторія Миколаївна (педагогічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"