Исследованы структура, состав и свойства покрытий на монокристаллах Si, <$E roman {Al sub 2 O sub 3}> и GaAs, полученных радиочастотным магнетронным распылением мишени <$E roman {AlN~-~TiCrB} sub 2>, изготовленной методами порошковой металлургии. Фазовый состав покрытия отличается от состава материала мишени вследствие окисления нитрида алюминия при его диссоциации в условиях ионной бомбардировки. Покрытия характеризуются ультрадисперсной структурой и значительным сопротивлением высокотемпературному окислению благодаря образованию твердых растворов в системах <$E roman {Al sub 2 O sub 3~-~TiO sub 2~-~Cr sub 2 O sub 3}> и <$E roman {Al sub 2 O sub 3~-~B sub 2 O sub 3}>. Прирост массы материала мишени при 1 300 <$E symbol Р>C составляет 1,4 <$E roman {мг "/" см sup 2}>. После высокотемпературного окисления формируется армированная дисперсная структура покрытия в виде переплетающихся волокон <$E roman {Al sub 2 O sub 3}>. Покрытия <$E ( roman {AlN~-~TiCrB sub 2 )~-~Al sub 2 O sub 3}> и <$E ( roman {AlN~-~TiCrB sub 2})~-~roman GaAs> термостабильны до 900 <$E symbol Р>C и имеют высокие значения микротвердости (<$E roman H sub mu~=~30> ГПа) и трещиностойкости (<$E K sub roman Ic~=~4,7~-~3,3~roman {МН "/" м} sup {3 "/" 2}>). С ростом температуры отжига (<$E T~symbol У~1 000~symbol Р>C) механические свойства покрытий ухудшаются, но при этом их адгезионная прочность возрастает. Материал мишени <$E roman {AlN~-~TiCrB} sub 2}> может быть рекомендован для получения износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, а также на ответственных деталях, работающих в экстремальных условиях.

• Руденко Олексій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Руденко Оксана Валеріївна (юридичні науки)
• Руденко Олена Віталіївна (економічні науки)
• Руденко Олена Володимирівна (медичні науки)
• Руденко Ольга Валентинівна (філософські науки)
• Руденко Оксана Володимирівна (психологічні науки)
• Руденко Олександр Васильович (фізико-математичні науки)
• Іванов Вадим Миколайович (1892–1962) (медичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"