Шмирєва О. М. Високочутливий мікроелектронний сенсор для визначення pH / О. М. Шмирєва, Д. О. Родак // Наук. вісті НТУУ "КПІ". - 2007. - № 4. - С. 32-38. - Бібліогр.: 15 назв. - укp.Створено іон-селективний польовий транзистор (ІСПТ) для визначення pH з підвищеною чутливістю, стабільністю і надійністю. Досліджено основні принципи функціонування ІСПТ, найбільш поширені варіанти конструкції ІСПТ, модель межі розділу діелектрик - електроліт, новий діелектричний іон-чутливий шар ІСПТ з діоксиду церію, аналіз ІСПТ з діелектричними структурами <$E roman {SiO sub 2~-~Si sub 3 N sub 4}> та <$E roman {SiO sub 2~-~CeO sub 2}> за допомогою методів оптичної та електронної мікроскопії, експериментальне одержання характеристик ІСПТ, визначення pH-чутливості ІСПТ. Індекс рубрикатора НБУВ: З852.395
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16492 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|